简述干法刻蚀的物理作用和化学作用

研磨的基本原理包括物理和化学作用（） 在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。 干粉灭火剂灭火机理主要是物理作用和化学作用。（） 干粉灭火剂灭火机理主要是物理作用和化学作用。（） 研磨的基本原理包括物理和化学作用。（V）（） 碱液在啤酒瓶清洗过程的作用效果包括化学作用和物理作用。 煤是动物遗体经过生物化学作用，又径受物理化学作用为主的地质作用转变而成的。 由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（）就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。 煤是由植物残骸经过复杂的生物化学作用和物理化学作用转变而来的，这个转变过程叫做植物的和（） 单层厂房地面直接承受各种物理和化学作用的部分是()。 冷藏法的作用是能抑制微生物的活动，减缓物理作用和化学作用的速度。 冷藏法的作用是能抑制微生物的活动，减缓物理作用和化学作用的速度。 环境表面清洁有效性的决定因素包括：物理作用、化学作用、人为作用（） （）是地面承受各种物理化学作用的构造层。 石灰土强度形成的机理主要是（）结晶作用、火山灰作用和碳酸化作用四种化学和物理化学作用的结果。 煤是由植物残骸经过复杂的生物化学作用和物理化学作用转变而来的，这个转变过程叫做植物的煤化阶段（） 二氧化碳灭火剂灭火机理主要是物理作用和化学作用。（） 二氧化碳灭火剂灭火机理主要是物理作用和化学作用。 石灰土强度形成的机理主要是（）、（）、（）和（）四种化学和物理化学作用的结果。 研磨的基本原理是研磨剂对被加工表面的物理作用和化学作用的综合（）