在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

仪器分析法主要可分为电化学分析法、光学分析法和色谱分析法等 以下分析方法中属于离子质谱分析法的是（） 下列能定性分析阳离子的方法是（ ）。①硫化氢系统分析法；②两酸两碱系统分析法；③色谱分析法；④红外光谱分析法 光谱分析法是通过检测油样中金属磨粒进行故障诊断的方法，目前（）分析法是应用广泛、仪器先进的现代化的检测技术。 模拟式频谱分析仪不能用于射频和微波频段。() 下列方法中哪些属发射光谱分析法（） 下列方法中哪些属发射光谱分析法（） 下列方法中哪些属发射光谱分析法（ ） 按照电磁辐射的本质来分，光谱分析法可分为原子光谱分析法和分子光谱分析法，属于原子光谱分析法的有（） 质谱分析法 由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（）就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。 光谱分析法与其他仪器分析法的不同点在于光谱分析法研究涉及的是 下列方法属于光谱分析法的包括（） 仪器分析法包括（）、电化学分析法、色谱分析法。 色谱分析法 终点分析法 油液监测技术主要有（）。Ⅰ.经验法；Ⅱ.磁塞法；Ⅲ.光谱分析法；Ⅳ.理化检验；Ⅴ.铁谱分析法。 光学分析法 放射免疫分析法目前常用于检测（　　）。 用放射免疫分析法检测的是（ ）。