单选题

在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时,需要将硅片先装入(),然后再装入扩散炉。

A. 耐热陶瓷器皿
B. 金属器皿
C. 石英舟
D. 玻璃器皿

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单选题
在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时,需要将硅片先装入(),然后再装入扩散炉。
A.耐热陶瓷器皿 B.金属器皿 C.石英舟 D.玻璃器皿
答案
单选题
气体扩散法是将含有磷的气体在高温()度下向硅片进行扩散。
A.200--400 B.800--900 C.1000—1500 D.2000—5000
答案
单选题
气体扩散法是将含有磷的气体在高温()度下向硅片进行扩散
A.200--400 B.800--900 C.10001500 D.20005000
答案
单选题
硅片扩散工艺结束后应抽取()片来检测。
A.5 B.6 C.3 D.4
答案
单选题
下面哪个不是硅片的清洗方法()
A.化学清洗法 B.超声清洗法 C.真空高温清洗法 D.清水清洗法
答案
主观题
例出典型的硅片湿法清洗顺序。
答案
主观题
例出典型的硅片湿法清洗顺序
答案
单选题
以下选项中不是硅片清洗的作用的是?()
A.在等离子边缘腐蚀中,如果有油污、水汽、灰尘和其他杂质存在,会影响器件的质量,清洗后质量大大提高 B.在硅片外延工艺中,杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定 C.在太阳能材料制备过程中,在硅表面涂一层具有良好性能的增反膜,有害的杂质离子进入二氧化硅层,会降低绝缘性能,清洗后绝缘性能会更好 D.硅片中杂质离子会影响P-N结的性能,引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电,影响P-N结的性能
答案
主观题
化学清洗中是利用硝酸的强()和强()将吸附在硅片表面的杂质除去。
答案
单选题
在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60º可知硅片是什么晶向()
A.(100) B.(111) C.(110) D.(211)
答案
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