主观题

假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。

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主观题
假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
答案
单选题
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,磷的扩散温度为()
A.600~750℃ B.900~1050℃ C.1100~1250℃ D.950~1100℃
答案
判断题
实现对CVD淀积多晶硅掺杂主要有三种工艺:扩散、离子注入、原位掺杂。由于原位掺杂比较简单,所以被广泛采用()
答案
单选题
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,砷和锑的扩散温度为()
A.1050~1200℃ B.900~1050℃ C.1100~1250℃ D.1200~1350℃
答案
单选题
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在900~1050℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
A.4~6h B.50min~2h C.10~40min D.5~10min
答案
单选题
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在950~1100℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
A.4~6h B.50min~2h C.10~40min D.5~10min
答案
判断题
溶度积大的沉淀一定能转化为溶度积小的沉淀。
答案
主观题
中国大学MOOC: 硅恒定源扩散,在扩散温度硅的固溶度为Ns,在进行了40min扩散后,测得结深是1.5μm,若要获得2.0μm的结深,在原工艺基础上应再扩散多少分钟?硅表面杂质浓度是多少?
答案
判断题
凡溶度积大的沉淀一定能转化成溶度积小的沉淀
答案
主观题
CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么?它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率?
答案
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