为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

简述高频电感耦合等离子体（ICP）的优点 ICP光谱仪的电感耦合等离子体是处于电离状态氩气的集合体，等离子体是物质的第4种状态（） 等离子体技术处理VOCs的原理是什么 试样的气溶胶在等离子体的焰心区 等离子体的空间现象中哪些互为逆过程？ 等离子体技术处理VOCs的原理是什么 “等离子体低温灰化法”对生物样品中的有机物分解速度很快、样品损失低，其原因是（） 从焦渣中减去（）之后，余下的残留物应为固定碳。 电感耦合等离子体焰炬自下而上温度逐渐升高。 简述等离子体发射光谱法的分析原理。 电感耦合等离子体光源主要由__、__、__等部分组成 下列对于等离子体物理的说法中错误的是____。 爆炸残留物属于犯罪遗留物（） 正常脑脊液氯化物浓度与血浆氯化物浓度相比 正常脑脊液氯化物浓度与血浆氯化物浓度相比（）。 影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。 氯化物 氯化物 氯化物 离子选择电极－流动注射法测定水中氯化物时，钾离子、钠离子干扰测定。