用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和()3部分。

激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪最高工作速度是（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长（）m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 （）激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823m的激光为（）基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m