在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。

激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床（） 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 干涉仪主要用于精密测量（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 激光干涉仪可以进行高精度的直线度、垂直度和平面度等的测量（） 补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（） 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。