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硅平面工艺的基本单项工艺主要包括()
多选题
硅平面工艺的基本单项工艺主要包括()
A. 氧化
B. 扩散掺杂
C. 光刻
D. 蒸镀金属
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硅平面工艺的基本单项工艺主要包括()
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