随着集成电路光刻技术的不断发展，芯片的光刻线宽越来越_____。

随着科学技术的不断发展，数控技术的发展越来越快，数控机床朝（）和模块化方向发展 根据《洁净厂房设计规范》GB 50073,某3层集成电路的光刻间的耐火等级不应低于（） 随着大规模集成电路技术迅速发展，微型计算机系统中微处理器与外围设备之间的接口电路已发展变成大规模集成电路芯片。 随着大规模集成电路技术迅速发展，微型计算机系统中微处理器与外围设备之间的接口电路已发展变成大规模集成电路芯片（） 随着中国经济的不断发展，越来越多的国家开始正视中国的影响（） 光刻技术 随着中国经济的不断发展,中国的影响被越来越多的国家开始正视。() 随着中国经济的不断发展,中国的影响被越来越多的国家开始正视（） 集成度与线宽有对应关系，即集成度越高，线宽越小，所以，线宽也常用来表示集成电路制度技术水平的高低。 光刻的精度甚高，其尺寸精度可达到0.01～0.005mm是半导体器件和集成电路制造中的关键工艺之一。() 多年来，集成电路技术的发展大体遵循着单块集成电路的。 现代集成电路的代表芯片有（） 随着底盘电子控制技术不断发展，集成制动系统推出，以下那些部件会逐步淘汰（） 提高光刻最小线宽可以通过提升介质的介电常数实现。 提高光刻最小线宽可以通过提升介质的介电常数实现（） 微电子技术发展经历了五代，即半导体技术、集成电路技术、大规模集成电路技术、超大规模集成电路技术、超大规模智能化集成电路技术。（） 数字投影微光刻技术相较于传统平面光刻的优势为 TRIZ创新方法是处于不断发展和完善之中的，其原理、解法和工具越来越丰富。 TRIZ创新方法是处于不断发展和完善之中的，其原理、解法和工具越来越丰富（） 社会分工会随着科学技术的发展越来越简单。( )