多选题

下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者()。

A. 二氧化硅氮化硅
B. 多晶硅硅化金属
C. 单晶硅多晶硅
D. 铝铜
E. 铝硅

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多选题
下列组合中哪一种基本上用于刻蚀前者的干刻蚀法大都可以用来刻蚀后者()。
A.二氧化硅氮化硅 B.多晶硅硅化金属 C.单晶硅多晶硅 D.铝铜 E.铝硅
答案
主观题
描述各同向性和各向异性刻蚀剖面,以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的?
答案
单选题
下列药物中哪一种可采用干砂埋藏法储存()。
A.赤芍 B.淮牛膝 C.牡丹皮 D.鲜芦根 E.鲜石斛
答案
单选题
刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
A.选择性 B.均匀性 C.轮廓 D.刻蚀图案
答案
主观题
干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
答案
主观题
干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么
答案
单选题
()是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。
A.刻蚀速率 B.刻蚀深度 C.移除速率 D.刻蚀时间
答案
判断题
中国大学MOOC: 负载效应是指因刻蚀面积变化而导致的刻蚀均匀性的变化,刻蚀速率随着被刻蚀薄膜暴露的面积的增加而下降。?
答案
主观题
刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
答案
单选题
赏心悦目的雕花玻璃是用下列物质中的一种对玻璃进行刻蚀而制成的。这种物质是()  
A.盐酸 B.氢氟酸 C.烧碱 D.纯碱
答案
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