多选题

干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。

A. 电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基

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多选题
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。
A.电子 B.中性原子 C.分子 D.自由基
答案
多选题
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A.等离子体蚀刻系统的形态 B.等离子体蚀刻的参数 C.光刻胶 D.待蚀刻薄膜的淀积参数条件
答案
主观题
以下哪个不属于等离子体利用气-固相反应发生的应用?: 溅射成膜 等离子体刻蚀 等离子体化学气相沉积 等离子体检测
答案
单选题
依据等离子体的粒子间温度差,可以把等离子体分为热平衡等离子体、非热平衡等离子体2大类。()
A.正确 B.错误
答案
单选题
便携式等离子束发生器产生等离子体的介质()
A.水蒸汽 B.水 C.蒸馏水 D.40%酒精溶液
答案
单选题
()是在两张薄玻璃板之间充填混合气体,施加电压使之产生等离子体,然后使等离子体放电,与基板中的荧光体发生反应,从而产生彩色影像。
A.等离子显示器 B.标记 C.管理 D.处理
答案
主观题
什么是等离子体?
答案
判断题
SPM 加工技术、离子和等离子体蚀刻和 LIGA 技术都属于传统的纳米超精加工技术。
答案
主观题
等离子体隐形技术属于[ ]
答案
单选题
等离子体灭菌的原理是
A.活性基团的作用 B.高速粒子击穿作用 C.紫外线的作用 D.温度的辅助作用 E.以上全是
答案
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