如何改善单极式变极距型电容传感器的非线性？

电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 电容式传感器主要缺点有（）、当电容式传感器用于变间隙原理进行测量时具有非线性输出特性。 变间隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此，实际中大都采用（）式电容传感器。 变间隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此，实际中大都采用（）式电容传感器 差动式结构极距变化型电容传感器在测量中虽然提高了灵敏度，但是非线性误差也提高了。() 变间隙式电容传感器的非线性误差与极板间初始距离 d 之间是 极距变化型电容式传感器，其灵敏度与极距()。 电容式位移传感器按结构特点可分为变极距型.和变面积型三种 电容式传感器主要缺点有　 影响较大　、当电容式传感器用于变间隙原理进行测量时具有非线性输出特性 变极距型电容传感器通常用于测量很大的线位移 变极距型电容式传感器的灵敏度是指单位距离改变引起的（）。 变极距型电容传感器可用减少极距的方法来提高灵敏度。() 极距变化型电容传感器或变气隙式电感传感器，只要满足Δδ＜＜δ。的条件，其灵敏度均可当作常数（） 极距变化型电容传感器适用于微小位移的测量是因为灵敏度与极距平方成反比，距离增大将产生非线性误差 极距型电容传感器中采用差动式结构的好处有（ ）。 变气隙型电感传感器灵敏度（），非线性（），量程（）。变面积型电感传感器的灵敏度（），线性性（），量程（）。螺管型电感传感器的灵敏度（），量程（），线性性（） 采用差动式变极板间距型的电容式传感器进行位移的测量，与单个电容式传感器相比，其灵敏度提高了1倍，而非线性误差减小了1倍 极距变化型电容式传感器,其灵敏度与极距平方成反比 为了减小电容式传感器的测量非线性误差，应该将两个相同的电容式传感器联接成（）形式 电容式传感器输出阻抗高，输出特性为非线性